电路板真空等离子清洗机
应用范围
1、FPC/PCB 孔壁凹蚀 / 去除孔壁树脂钻污。
2、PTFE&聚四氟乙烯材料的活化处理。
3、碳化物去除。
4、化学沉金/电镀前手指、焊盘表面清洁。
5、去除电镀夹膜。
甲岸科技电路板真空等离子清洗机
甲岸科技电路板真空等离子清洗机用于半导体行业封装段清洗。晶圆表面活化，除胶，刻蚀，提高表面附着力，确保出众的清洗效果，满足用户对产品表面处理需求。
产品应用
1、FPC/PCB 孔壁凹蚀 / 去除孔壁树脂钻污
2、PTFE&聚四氟乙烯材料的活化处理
3、化学沉金/电镀前手指、焊盘表面清洁
4、碳化物去除
5、去除电镀夹膜
产品特点
- 采用水平式电极，收、放板方式便捷,方便人员操作，提升换板效率
- 优良的冷却方式,深钻孔水流设计，消除冷却管道对电极板之间的遮挡，缩短清洗时间
- 控制界面操作简单易学，全自动运行，可24小时连续工作,无需人工看管
Model | AP-PVM-010 | AP-PVM-020 | AP-PVM-030 |
外观尺寸 （L*W*H mm） | 1400*1360*2000 | 1600*1460*2000 | 1950*1700*2000 |
腔体尺寸 （L*W*H mm） | 500*800*600 | 600*1000*600 | 1200*1300*600 |
电极层数 | 15 | 17 | 17 |
离子发生器功率 | 10KW 40KHZ | 10KW 40KHZ | 20KW 40KHZ |
真空系统 | 50L/Min | 76L/Min | 110L/Min |
压缩空气 | 0.5MPa | 0.5MPa | 0.5MPa |
冷却方式 | 水冷 | 水冷 | 水冷 |
工艺气体 | Ar，N2，CF4，O₂，H2 | Ar，N2，CF4，O₂，H2 | Ar，N2，CF4，O₂，H2 |
重量（KG） | 1000 | 1200` | 1500 |
电源 | AV380V 50-60HZ | AV380V 50-60HZ | AV380V 50-60HZ |
语言 | 中文/英文 | 中文/英文 | 中文/英文 |
操作手册 | 电子档文件 | 电子档文件 | 电子档文件 |
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