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石英真空等离子清洗机

产品应用范围:
金属、玻璃、橡胶、高分子材料、PCB等材料表面的清洁、处理,增强亲水性、粘接力。


甲岸科技石英真空等离子清洗机


甲岸科技石英真空等离子清洗机采用石英腔体设计,密封性卓越;13.56射频等离子发生器,产生高密度等高子体,确保出众的清洗效果,满足用户对小产品表面处理及实验测试的需求,同时可以节约用户成本,用合适的预算完成自己的目标。



产品应用


1、对电子材料、金属材料、塑料、玻璃、橡胶、PTFE等,表面进行清洗,活化改性,去有机物,去氧化物,去颗粒;

2、提升亲水性,增强粘接性,附着力,分子活性。



产品特点


  • 不锈钢托盘设计,可调节托盘间距
  • 石英腔体,密封性卓越
  • 13.56射频等离子发生器,产生高密度等高子体,确保出众的清洗效果;
  • 可视化触摸屏,过程参数实时监控。
  • 支持各种工艺气体,包括氩气,氧,氢,氦和氟化气体
  • 高精度气体流量监测系统,两路工艺气体配置(氩气、氧气),双路气流控制,比例可调


型   号

AP-VM05

等离子源系统

频   率

13.65MHz  射频

功   率

0-300W (连续可调,精度为1W)

真空系统

真空腔体

材质

石英

腔体内部尺寸(MM)

D160*260(直径*深度)

腔体容积

5 L

密封性

军工级焊接密封

泵

真空泵

油泵/干泵(选配)

处理温度

<60°C

流量计

0-500ml/min

气路控制

2路处理气体气路,气体流量可调

真空度

10Pa --100Pa

工艺气体

Ar、N₂、CF₄、O₂、H₂等(可选)

外观参数

外形尺寸(MM)

750*450*500 (宽*高*深)

重      量

55KG

设施配置

电      力

单相三线制AC220V ,50-60Hz。所有配线符合《低压配电设计规范 GB50054-95》、《低压配电装置及线路设计规范》等国标标准相关规定。


石英真空等离子清洗机
产品应用范围:
金属、玻璃、橡胶、高分子材料、PCB等材料表面的清洁、处理,增强亲水性、粘接力。
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石英真空等离子清洗机

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