等离子去胶机
选择【甲岸科技】等离子去胶机的理由：
1、可以根据客户需求定制。
2、小巧、操作简单、易维护。
3、进口针阀精密流量控制计，精度高。
4、引进德国核心等离子技术，质量有保障。
5、多路工艺反应气体通道，保证产品清洗效果。
6、316不锈钢材质，耐腐蚀，环保不产生金属污染。
甲岸小型等离子去胶机外观简洁，系统集成度高，模块化设计，适用于半导体、生物技术、材料等领域。性能优异，可提供优秀的工业控制、故障报警系统和数据采集软件。可满足科研生产的严格控制要求。
影响等离子去胶机使用的四大因素
一、调整合适的频率
频率越高，氧越容易电离形成等离子体。如果频率过高，使电子振幅短于其平均自由程，电子与气体分子碰撞的概率就会降低，导致电离率降低。通常，公共频率为13.56MHz和2.45GHz。
二、调整适当的权力
关于一定量的气体，功率大，等离子体中活性粒子的密度也高，脱胶速度也快；但当功率增加到一定值时，响应消耗的活性离子达到饱和，脱胶速度随功率的增加不明显增加。由于功率大，衬底温度高，需要根据技术要求调整功率。
三、调整合适的真空度
适当的真空度可以使电子运动的平均自由程更大，因此从电场中获得的能量更大，有利于电离。此外，当氧气流量必须准时时，真空度越高，氧气的相对份额越大，活性颗粒浓度越大。但如果真空度过高，活性粒子的浓度反而会降低。
四、氧气流量的调整
氧气流量大，活性颗粒密度大，脱胶速率加快；但如果通量过大，离子的复合几率增加，电子运动的平均自由程缩短，电离强度反而降低。如果回转室的压力不变，流量增加，则还增加了被抽出的气体量，也增加了不参与回转的活性颗粒量，因此流量对脱胶率的影响不是很显著。
选择【甲岸科技】等离子去胶机的理由：
1、可以根据客户需求定制。
2、小巧、操作简单、易维护。
3、进口针阀精密流量控制计，精度高。
4、引进德国核心等离子技术，质量有保障。
5、多路工艺反应气体通道，保证产品清洗效果。
6、316不锈钢材质，耐腐蚀，环保不产生金属污染。
型 号 | AP-RR8 | ||
等离子源系统 | 频 率 | 13.56MHz 射频 | |
功 率 | 0~300W可调 | ||
真空系统 | 真空腔体 | 材质 | 石 英 |
腔体内部尺寸 | Φ250 * Dept.260（直径*深mm) | ||
腔体容积 | 12 L | ||
处理最大尺寸 | 8英寸 | ||
泵 | 真空泵 | 干泵 | |
真空管路 | 不锈钢管、不锈钢波纹管 | ||
真空计 | 1×105~1×10-1Pa | ||
质量流量计 | ＜±1% FS | ||
气路控制 | 4路处理气体气路，气体流量可调 | ||
极限真空 | 5Pa | ||
流量范围 | 0-500SCCM（可调） | ||
工艺气体 | Ar、N₂、O₂、H₂等等（可选） | ||
外观参数 | 外形尺寸(MM) | 750*450*500(宽*高*深） | |
重 量 | 55KG | ||
设施配置 | 电 力 | 单相三线制AC220V ,50-60Hz。所有配线符合《低压配电设计规范 GB50054-95》、《低压配电装置及线路设计规范》等国标标准相关规定。 | |
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