大气等离子清洗机与真空等离子清洗机的区别
Time： 2022-05-14 15:46:14
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⑴大气等离子清洗机：
一般采用空气作为生发气体。特点是气体的需求量非常高，工业应用上常用中频作为激发能源，频率在39KHZ左右。等离子工作形态以直喷跟旋转两种比较常见。设备工作过程中会产生超标的臭氧与氮氧化物等对人有害的气体，所以必须要配套废气排放系统一同工作。因为特性，大气等离子主要适用于对处理效果要求高，并且后续运行成本低的行业，例如手机盖板，手机保护膜等行业。
⑵真空等离子清洗机：
主要分为两种，即腔式和大气压式，此两种等离子技术均为直接式等离子。腔式等离子的特点是需要一个封闭的腔体，电极内置于真空腔体中，工作时首先用真空泵将腔体内空气吸出形成真空环境，然后等离子在整个腔体中形成并直接对在内的材料进行表面处理。此种腔式等离子的处理效果要优于大气等离子。后续运行成本较高，主要是因为其真空泵连续工作的功耗较大。另外设备工作时在真空环节需要的时间较多，对采用自动化生产线及要求处理效率的工业领域来说，局限性比较明显，大气压光式等离子技术。RF射频作为激发能源，工作频率是13.57MHZ。采用氩气（Ar）作为发生气体，氧气或者氮气作为反应气体。
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